Chùa Thượng Tây Thiên (Tây Thiên thiền tự) được xây dựng cùng khuôn viên đền Mẫu Tây Thiên, ở độ cao 530m trên núi Thạch Bàn. Các tài liệu địa chí cổ đều khẳng định không rõ chùa được xây dựng từ đời nào. Tuy nhiên, đến các đời chính hòa (1680-1705), Bảo Thái (1720-1729) chùa Thượng Tây Thiên đã qua nhiều lần tu sửa. Đặc biệt, vào năm Bảo Đại thứ 12 (1937) có viên chánh tổng Thượng Đạt là Hà Trọng Tuy người Liễn Sơn (Lập Thạch) xin với dân để tập phúc làm đền, chùa theo kiểu mới. Theo đó đền và chùa được làm liền nhau (chung một dốc mái). Một bên đền, một bên chùa...

Năm 2003, được sự đồng ý của UBND tỉnh, chùa Tây Thiên được xây dựng tách khỏi đền Thượng Tây Thiên. Qua đó đã phát hiện khu Tháp mộ của 3 vị thiền sư từng trụ trì và viên tịch tại đây gồm: Võng Sơn Thiền sư; Cúc Khê Thiền sư và Giác Nghĩa Thiền sư. Khu tháp mộ của các thiền sư gồm 3 mộ nằm dưới chân ngọn núi Thạch Bàn. Tháp có 4 mặt, mặt trước có cắm các bia mộ. Đến nay đã được xây dựng trang nghiêm.

Chùa Thượng Tây Thiên

 Tổ đường chùa Tây Thiên

Khu mộ tổ Thiền sư

Bàn cờ tiên